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Setra-730(真空電容式壓力計)

產品簡介

Setra 730是一款高精度的電容式壓力計(亦稱電容式膜片真空計(CDG)),適合在光伏、半導體和工業市場中測量對過程控制至關重要的低真空範圍。該產品讀數精度達±0.5%,分辨率高,優於同類產品。730使用全Inconel®接液材料,可承受半導體加工過程中的腐蝕性介質。由於採用直接測量設計,故能準確測量介質,不受應用中氣體混合物成分的影響。

操作手冊

  • 高精度,±0.5% of Reading。
  • 工作溫度補償範圍寬
  • 迴路噪聲低、響應快
  • 不易受環境條件變化影響
  • 專用壓力接頭
  • 耐腐蝕的Inconel®設計
  • 半導體處理室
  • 石化
  • 等離子體滅菌器
  • 真空包裝

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